作者hsnulight (台大東方翔)
看板NEMS
標題[問題] 關於NR9-1000P的曝光劑量
時間Sun Apr 27 19:29:49 2014
如題
最近想使用NR9-1000P此款光阻做為擋罩
蝕刻出線寬約3~4um的電極
看了一下官方的資料是說 1um的光阻只需要 21 mJ/cm^2 for 365nm
目前所使用的曝光機是 10 mJ/cm^2 不過是405nm
這樣看起來如果我的光阻厚度是1.5um的話只需要曝3秒左右嗎?
因為沒有曝過這麼短時間
不知道有沒有人使用過此款光阻呢
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1F：→ balaboo123:不一定 I/G line波長通常是汞燈光強的peak 04/27 20:40
2F：→ balaboo123:405世界在這中間 要看他的強度是多少才可以計算 04/27 20:40