作者hsnulight (台大东方翔)
看板NEMS
标题[问题] 关於NR9-1000P的曝光剂量
时间Sun Apr 27 19:29:49 2014
如题
最近想使用NR9-1000P此款光阻做为挡罩
蚀刻出线宽约3~4um的电极
看了一下官方的资料是说 1um的光阻只需要 21 mJ/cm^2 for 365nm
目前所使用的曝光机是 10 mJ/cm^2 不过是405nm
这样看起来如果我的光阻厚度是1.5um的话只需要曝3秒左右吗?
因为没有曝过这麽短时间
不知道有没有人使用过此款光阻呢
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1F：→ balaboo123:不一定 I/G line波长通常是汞灯光强的peak 04/27 20:40
2F：→ balaboo123:405世界在这中间 要看他的强度是多少才可以计算 04/27 20:40