作者YamadaRyo (亞嘛搭六)
看板NEMS
標題[問題] 面型微加工問題
時間Fri Apr 11 23:38:45 2014
只是一個簡單的小問題
http://ppt.cc/0OF3
為什麼b到c 就可以直接pattern (如果可直接 那這個步驟的名稱式也叫做蝕刻嗎)
而f到i就要先塗光阻然後光刻再蝕刻?
還是b到c只是圖片簡化光刻的部分?
麻煩解答 謝謝!!
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1F：推 tzjwinfcha:因為是論文型式，有些製程會簡化，不會寫的這麼細詳 04/12 19:55