作者YamadaRyo (亚嘛搭六)
看板NEMS
标题[问题] 面型微加工问题
时间Fri Apr 11 23:38:45 2014
只是一个简单的小问题
http://ppt.cc/0OF3
为什麽b到c 就可以直接pattern (如果可直接 那这个步骤的名称式也叫做蚀刻吗)
而f到i就要先涂光阻然後光刻再蚀刻?
还是b到c只是图片简化光刻的部分?
麻烦解答 谢谢!!
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1F：推 tzjwinfcha:因为是论文型式，有些制程会简化，不会写的这麽细详 04/12 19:55