作者bibbytoto (兔子)
看板NEMS
標題[問題] TiO2蝕刻問題
時間Tue Feb 18 19:34:27 2014
小弟的實驗是在Si基板正反兩面鍍上不同厚度的TiO2，然後做成MIS結構做CV量測
有幾個問題想請教版上各位大大使用哪種方法來蝕刻會比較好
方法1.先在基板正面旋塗上光阻再烤乾,接著使用49%的HF來蝕刻
方法2.使用RIE做蝕刻但不確定該通甚麼氣體
請問各位大大小弟的方法可行嗎?
煩請各位指教
--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 220.143.64.71
1F：→ SkyLark2001:TiO2 dry/wet etching都有人做，各有優缺點，看 02/19 06:08
2F：→ SkyLark2001:你怎樣取捨選擇 02/19 06:09