作者gggg9999 (居九)
看板NEMS
標題[問題] su8光阻spin coating完烤完放置時間
時間Sun Feb 16 11:53:54 2014
請問大大
我用su8製作pattern
旋塗完後放置烤盤上軟烤
查到的資料是說 第一次烤60度 第二次烤90度 以每隔幾分鐘向上調5度來達到設定溫度
請問這句話的意思是 "先把sample放置0度烤盤 我再以一分鐘向上調5度
12分鐘後達到60度進行第一次軟烤,時間到後再以一分鐘向上調5度直到90度來進行
第二次軟烤"這樣嗎?
可是實驗室的加熱板最低溫度在50度,這樣可以進行實驗嗎
第二問題是軟烤完要放置室溫8-10hr 請問可以放超過8-10hr嗎?
謝謝大大解惑
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◆ From: 61.230.23.4
1F：推 jam46:SU-8需要這麼"搞剛"喔!? 我線寬約50-100, 厚度約100-200, 我 02/19 03:23
2F：→ jam46:都亂做耶 XD 直接放上hotplate, 也沒緩慢降溫.... 02/19 03:25
3F：推 SkyLark2001:大部分的SU-8不需要那麼麻煩，網路上可以找到一堆 02/19 06:07
4F：→ SkyLark2001:簡化的recipe 02/19 06:07
5F：→ gggg9999:謝謝兩位大大!我會去找找看,請問一樓大大作的sample還滿 02/19 11:29
6F：→ gggg9999:意嗎 02/19 11:29
7F：→ jam46:光阻轉角處是會有小細紋，但因為我是用來翻PDMS做流道，所以 02/27 02:57
8F：→ jam46:細紋I don't care~ PDMS應該翻不出細紋來，所以我都青菜做XD 02/27 02:59
9F：→ gggg9999:謝謝大大 受益了! 02/27 12:21
10F：→ gggg9999:請問SU8可以用丙酮洗掉嗎? 02/27 19:16
11F：→ gggg9999:想說如果顯影不成功,可以洗掉的話就不用浪費wafer 02/27 19:16
12F：推 jam46:一點點沒顯乾淨的可以用丙酮沖掉，要全部砍掉重練..我沖不掉 02/27 21:46
13F：→ jam46:可以試試用硫酸雙氧水煮煮看 (上網搜尋"食人魚") 02/27 21:47
14F：推 SkyLark2001:顯影過su8的wafer要回收最好的方法就只有 piranha 02/28 03:32
15F：→ gggg9999:謝謝兩位大大! 03/02 01:49
16F：→ gggg9999:我覺得光是軟考完要拿去丙酮洗都洗不太乾淨了 還有髒汙 03/03 11:23
17F：→ gggg9999:請問大大,有聽到業界的主管說我顯影完不用熱烤嗎? 03/04 20:37
18F：→ gggg9999:可是正常流程沒有這一道吧? 03/04 20:37
19F：推 jam46:我們買的是microchem的SU-8，原廠的datasheet是有Hard Bake 03/05 23:03
20F：→ jam46:這一步沒錯，但我也都偷懶沒做 XDD 拿來翻PDMS微流道，好像 03/05 23:05
21F：→ jam46:也沒什麼影響... 下面是microchem的原廠datasheet，FYI. 03/05 23:06