作者gggg9999 (居九)
看板NEMS
标题[问题] su8光阻spin coating完烤完放置时间
时间Sun Feb 16 11:53:54 2014
请问大大
我用su8制作pattern
旋涂完後放置烤盘上软烤
查到的资料是说 第一次烤60度 第二次烤90度 以每隔几分钟向上调5度来达到设定温度
请问这句话的意思是 "先把sample放置0度烤盘 我再以一分钟向上调5度
12分钟後达到60度进行第一次软烤,时间到後再以一分钟向上调5度直到90度来进行
第二次软烤"这样吗?
可是实验室的加热板最低温度在50度,这样可以进行实验吗
第二问题是软烤完要放置室温8-10hr 请问可以放超过8-10hr吗?
谢谢大大解惑
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 61.230.23.4
1F：推 jam46:SU-8需要这麽"搞刚"喔!? 我线宽约50-100, 厚度约100-200, 我 02/19 03:23
2F：→ jam46:都乱做耶 XD 直接放上hotplate, 也没缓慢降温.... 02/19 03:25
3F：推 SkyLark2001:大部分的SU-8不需要那麽麻烦，网路上可以找到一堆 02/19 06:07
4F：→ SkyLark2001:简化的recipe 02/19 06:07
5F：→ gggg9999:谢谢两位大大!我会去找找看,请问一楼大大作的sample还满 02/19 11:29
6F：→ gggg9999:意吗 02/19 11:29
7F：→ jam46:光阻转角处是会有小细纹，但因为我是用来翻PDMS做流道，所以 02/27 02:57
8F：→ jam46:细纹I don't care~ PDMS应该翻不出细纹来，所以我都青菜做XD 02/27 02:59
9F：→ gggg9999:谢谢大大 受益了! 02/27 12:21
10F：→ gggg9999:请问SU8可以用丙酮洗掉吗? 02/27 19:16
11F：→ gggg9999:想说如果显影不成功,可以洗掉的话就不用浪费wafer 02/27 19:16
12F：推 jam46:一点点没显乾净的可以用丙酮冲掉，要全部砍掉重练..我冲不掉 02/27 21:46
13F：→ jam46:可以试试用硫酸双氧水煮煮看 (上网搜寻"食人鱼") 02/27 21:47
14F：推 SkyLark2001:显影过su8的wafer要回收最好的方法就只有 piranha 02/28 03:32
15F：→ gggg9999:谢谢两位大大! 03/02 01:49
16F：→ gggg9999:我觉得光是软考完要拿去丙酮洗都洗不太乾净了 还有脏污 03/03 11:23
17F：→ gggg9999:请问大大,有听到业界的主管说我显影完不用热烤吗? 03/04 20:37
18F：→ gggg9999:可是正常流程没有这一道吧? 03/04 20:37
19F：推 jam46:我们买的是microchem的SU-8，原厂的datasheet是有Hard Bake 03/05 23:03
20F：→ jam46:这一步没错，但我也都偷懒没做 XDD 拿来翻PDMS微流道，好像 03/05 23:05
21F：→ jam46:也没什麽影响... 下面是microchem的原厂datasheet，FYI. 03/05 23:06