作者skyghostlove (阿呆)
看板NEMS
標題[問題] 蝕刻金屬 Ni/Au 長在P-GaN上
時間Thu Feb 6 20:22:32 2014
各位好:
目前碰到問題是
於P-GaN上長Ni/Au金屬
已將金屬做RTA動作(約500度以上)
欲將其金屬整個蝕刻掉
嘗試方法:
(1)用過王水,但還是有殘餘金屬,也加熱過了,還是沒用
(2)也有想過先用王水蝕刻"金",再用鹽酸把Ni吃掉,效果還是一樣
(3)氫氟酸也泡過了,也一樣
弄了一下午沒結果，想請教板上實驗高手
謝謝
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.122.136.20
1F：→ chaos0214:可以試看看硝酸 02/07 18:58
2F：→ skyghostlove:硝酸,磷酸都個別泡過3小時以上 但金屬仍不會掉 02/10 10:18
3F：推 astushi:LED pad用lift-off比較方便作~用etch的不好做 02/12 12:02
4F：→ astushi:看起來你的pGaN上面沒有ITO，不是LED?有ITO的話你更不能用 02/12 12:03
5F：→ astushi:wet etching 02/12 12:03
6F：推 kai002:已經RTA了應該 02/14 10:10
7F：→ kai002:是有點難再蝕刻掉 02/14 10:10
8F：推 bhchad:rta後 Ni Au成分改變 最明顯是變透明 03/10 21:55
9F：推 bhchad:可以查一下Ni Au退火相關paper 03/10 21:57