作者skyghostlove (阿呆)
看板NEMS
标题[问题] 蚀刻金属 Ni/Au 长在P-GaN上
时间Thu Feb 6 20:22:32 2014
各位好:
目前碰到问题是
於P-GaN上长Ni/Au金属
已将金属做RTA动作(约500度以上)
欲将其金属整个蚀刻掉
尝试方法:
(1)用过王水,但还是有残余金属,也加热过了,还是没用
(2)也有想过先用王水蚀刻"金",再用盐酸把Ni吃掉,效果还是一样
(3)氢氟酸也泡过了,也一样
弄了一下午没结果，想请教板上实验高手
谢谢
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.122.136.20
1F：→ chaos0214:可以试看看硝酸 02/07 18:58
2F：→ skyghostlove:硝酸,磷酸都个别泡过3小时以上 但金属仍不会掉 02/10 10:18
3F：推 astushi:LED pad用lift-off比较方便作~用etch的不好做 02/12 12:02
4F：→ astushi:看起来你的pGaN上面没有ITO，不是LED?有ITO的话你更不能用 02/12 12:03
5F：→ astushi:wet etching 02/12 12:03
6F：推 kai002:已经RTA了应该 02/14 10:10
7F：→ kai002:是有点难再蚀刻掉 02/14 10:10
8F：推 bhchad:rta後 Ni Au成分改变 最明显是变透明 03/10 21:55
9F：推 bhchad:可以查一下Ni Au退火相关paper 03/10 21:57