作者lin0077123 (我愛你9527)
看板NEMS
標題[問題] SU-8 2150顯影問題
時間Thu Jan 16 19:56:12 2014
我的製程光阻後度約為250微米，線寬約為80微米
大部分的圖形顯影的時候很漂亮，
但在局部的地方例如某些圖形間的間距總是顯不乾淨(如下圖所示)
=================================
圖形(寬度80微米)
=================================
(40微米間距)
=================================
圖形
=================================
請問一下是我製程哪邊有問題，
或者是有其他顯影方式可以讓顯影更加乾淨嗎?
--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.112.43.58
※ 編輯: lin0077123 來自: 140.112.43.58 (01/16 19:59)
1F：推 OhMyAlex:超音波震顯? 01/16 20:34
2F：推 nasa01:你顯多久? 能用毛刷試試看嗎 01/17 17:43
3F：→ lin0077123:手搖式顯影30分鐘，結構有點脆弱盡量避免超音波震洗 01/17 22:23
4F：→ lin0077123:毛刷法我沒試過也沒聽過，請問是如何使用? 01/17 22:23
5F：推 Ice98:減少曝光劑量看看 01/18 02:06
6F：推 nasa01:直接用水彩筆 或是毛筆輕刷 (再顯影液內) 01/20 14:35