作者lin0077123 (我爱你9527)
看板NEMS
标题[问题] SU-8 2150显影问题
时间Thu Jan 16 19:56:12 2014
我的制程光阻後度约为250微米，线宽约为80微米
大部分的图形显影的时候很漂亮，
但在局部的地方例如某些图形间的间距总是显不乾净(如下图所示)
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图形(宽度80微米)
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(40微米间距)
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图形
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请问一下是我制程哪边有问题，
或者是有其他显影方式可以让显影更加乾净吗?
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◆ From: 140.112.43.58
※ 编辑: lin0077123 来自: 140.112.43.58 (01/16 19:59)
1F：推 OhMyAlex:超音波震显? 01/16 20:34
2F：推 nasa01:你显多久? 能用毛刷试试看吗 01/17 17:43
3F：→ lin0077123:手摇式显影30分钟，结构有点脆弱尽量避免超音波震洗 01/17 22:23
4F：→ lin0077123:毛刷法我没试过也没听过，请问是如何使用? 01/17 22:23
5F：推 Ice98:减少曝光剂量看看 01/18 02:06
6F：推 nasa01:直接用水彩笔 或是毛笔轻刷 (再显影液内) 01/20 14:35