作者truescorpio ()
看板NEMS
標題[問題] 請問矽片蝕刻
時間Wed Dec 18 23:39:11 2013
請問大家
我想利用光微影加濕蝕刻做成pyramid的形狀
我想請問一片6吋光罩要多少錢，
還有矽片上有SiN當阻擋層，一片多少錢。
謝謝。
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◆ From: 36.237.117.63
1F：推 jeffdon2:光罩種類?乳膠光罩和玻璃光罩價差很大哦 12/19 13:40
2F：→ jeffdon2:乳膠光罩如果解析度要20000dpi的5吋正方型約1575元 12/19 13:42
3F：→ jeffdon2:10000dpi 大概525吧，這是國內港建的價錢 12/19 13:43
4F：→ jeffdon2:至於玻璃光罩，基板是普通玻璃還是石英價錢也差很多 12/19 13:44
5F：→ jeffdon2:之前有問過石英光罩線寬5um好像要1~2萬 12/19 13:45
6F：→ jeffdon2:SiN的薄膜可以考慮送NDL代工，網站上就有收費標準可以查 12/19 13:47