作者truescorpio ()
看板NEMS
标题[问题] 请问矽片蚀刻
时间Wed Dec 18 23:39:11 2013
请问大家
我想利用光微影加湿蚀刻做成pyramid的形状
我想请问一片6寸光罩要多少钱，
还有矽片上有SiN当阻挡层，一片多少钱。
谢谢。
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◆ From: 36.237.117.63
1F：推 jeffdon2:光罩种类?乳胶光罩和玻璃光罩价差很大哦 12/19 13:40
2F：→ jeffdon2:乳胶光罩如果解析度要20000dpi的5寸正方型约1575元 12/19 13:42
3F：→ jeffdon2:10000dpi 大概525吧，这是国内港建的价钱 12/19 13:43
4F：→ jeffdon2:至於玻璃光罩，基板是普通玻璃还是石英价钱也差很多 12/19 13:44
5F：→ jeffdon2:之前有问过石英光罩线宽5um好像要1~2万 12/19 13:45
6F：→ jeffdon2:SiN的薄膜可以考虑送NDL代工，网站上就有收费标准可以查 12/19 13:47