作者doublecool (涼涼)
看板NEMS
標題[問題] PDMS 黏合問題
時間Fri Dec 6 17:03:26 2013
摁，最近翻了很多片PDMS要做流道用
一開始首先用PDMS對黏
好像可以，不過後來就一直黏不起來
於是聽老師的話跟看PAPER
就去借了O2 plasma
由於是借用別人的實驗室去太多次也滿不好意思
那台O2 plasma 功率大約20W
打了3-5分鐘 (想說瓦數低打久一點)
然後bond玻璃 不過好像沒有效果
不知道是不是打太久還是瓦數太低根本打不起來？
還是要有其他步驟
請各位大大幫小弟解答一下
感謝><
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◆ From: 140.122.53.59
1F：推 jeffdon2:打O2plasma要PDMS與玻璃都事先清潔接合表面 12/06 17:06
2F：→ jeffdon2:壓力值大約保持在0.5torr左右，太低的話改質效果不佳 12/06 17:08
3F：→ jeffdon2:20W的功率打3~5分鐘是OK的 12/06 17:09
4F：→ jeffdon2:而且PDMS與玻璃都需要打氧電漿 12/06 17:10
5F：→ jeffdon2:黏好之後放進烘箱烤30分鐘可以增加接合強度 12/06 17:11
6F：→ doublecool:先謝謝 因為O2 plasma一次只能打一樣 這樣拿出來接觸 12/06 17:12
7F：→ doublecool:到空氣會怎樣嗎 12/06 17:12
8F：→ doublecool:如果黏好之後用熱烤機烤(沒有烤箱)這樣可以嗎？ 12/06 17:13
9F：→ jeffdon2:PDMS對黏的話反而需要大於0.5torr，即氧氣量更多才足夠 12/06 17:13
10F：→ jeffdon2:腔體有小到放不進2樣嗎? 12/06 17:15
11F：→ doublecool:是圓柱體 放不下耶 玻璃是4吋晶圓大小 要斜著放 12/06 17:16
12F：→ jeffdon2:如果真的放不下，請把先打好的PDMS整個泡在酒精中 12/06 17:16
13F：→ jeffdon2:這可以延緩改質效果的衰退 12/06 17:17
14F：→ jeffdon2:盡快將另一樣改質好進行接合 12/06 17:18
15F：→ doublecool:所以不管是PDMS或Glass都用0.5torr 打3-5分鐘 20W 12/06 17:19
16F：→ jeffdon2:事後的烘烤用hotplate或是oven都OK 12/06 17:19
17F：→ jeffdon2:沒錯 12/06 17:19
18F：→ doublecool:OK 知道了 我約約時間去試看看 謝謝您 12/06 17:24
19F：→ doublecool:不知道玻璃拿去烤會不會破掉 12/06 17:27