作者doublecool (凉凉)
看板NEMS
标题[问题] PDMS 黏合问题
时间Fri Dec 6 17:03:26 2013
摁，最近翻了很多片PDMS要做流道用
一开始首先用PDMS对黏
好像可以，不过後来就一直黏不起来
於是听老师的话跟看PAPER
就去借了O2 plasma
由於是借用别人的实验室去太多次也满不好意思
那台O2 plasma 功率大约20W
打了3-5分钟 (想说瓦数低打久一点)
然後bond玻璃 不过好像没有效果
不知道是不是打太久还是瓦数太低根本打不起来？
还是要有其他步骤
请各位大大帮小弟解答一下
感谢><
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.122.53.59
1F：推 jeffdon2:打O2plasma要PDMS与玻璃都事先清洁接合表面 12/06 17:06
2F：→ jeffdon2:压力值大约保持在0.5torr左右，太低的话改质效果不佳 12/06 17:08
3F：→ jeffdon2:20W的功率打3~5分钟是OK的 12/06 17:09
4F：→ jeffdon2:而且PDMS与玻璃都需要打氧电浆 12/06 17:10
5F：→ jeffdon2:黏好之後放进烘箱烤30分钟可以增加接合强度 12/06 17:11
6F：→ doublecool:先谢谢 因为O2 plasma一次只能打一样 这样拿出来接触 12/06 17:12
7F：→ doublecool:到空气会怎样吗 12/06 17:12
8F：→ doublecool:如果黏好之後用热烤机烤(没有烤箱)这样可以吗？ 12/06 17:13
9F：→ jeffdon2:PDMS对黏的话反而需要大於0.5torr，即氧气量更多才足够 12/06 17:13
10F：→ jeffdon2:腔体有小到放不进2样吗? 12/06 17:15
11F：→ doublecool:是圆柱体 放不下耶 玻璃是4寸晶圆大小 要斜着放 12/06 17:16
12F：→ jeffdon2:如果真的放不下，请把先打好的PDMS整个泡在酒精中 12/06 17:16
13F：→ jeffdon2:这可以延缓改质效果的衰退 12/06 17:17
14F：→ jeffdon2:尽快将另一样改质好进行接合 12/06 17:18
15F：→ doublecool:所以不管是PDMS或Glass都用0.5torr 打3-5分钟 20W 12/06 17:19
16F：→ jeffdon2:事後的烘烤用hotplate或是oven都OK 12/06 17:19
17F：→ jeffdon2:没错 12/06 17:19
18F：→ doublecool:OK 知道了 我约约时间去试看看 谢谢您 12/06 17:24
19F：→ doublecool:不知道玻璃拿去烤会不会破掉 12/06 17:27