作者kevinho0603 (LockerWei)
看板NEMS
標題[問題] 硬考時間????
時間Tue Dec 3 15:27:42 2013
請位各位大大
硬烤的溫度和時間是以什麼為依據呢?
如果我AZ4620厚度 大約在6~7um
軟烤 95度C 5分鐘
硬烤的溫度和時間要為多少呢?
請大大們給我點建議，謝謝。
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 163.13.136.146
1F：推 wade0222:至少要比軟烤溫度高和久 12/03 17:47
2F：推 Ice98:要看後面接啥製程 12/03 23:28
3F：→ kevinho0603:如果我之後是要打ICP呢? 12/05 15:24
4F：→ SkyLark2001:看你DRIE要多久。不一定要比softbake溫度高或久 12/05 16:08