作者kevinho0603 (LockerWei)
看板NEMS
标题[问题] 硬考时间????
时间Tue Dec 3 15:27:42 2013
请位各位大大
硬烤的温度和时间是以什麽为依据呢?
如果我AZ4620厚度 大约在6~7um
软烤 95度C 5分钟
硬烤的温度和时间要为多少呢?
请大大们给我点建议，谢谢。
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 163.13.136.146
1F：推 wade0222:至少要比软烤温度高和久 12/03 17:47
2F：推 Ice98:要看後面接啥制程 12/03 23:28
3F：→ kevinho0603:如果我之後是要打ICP呢? 12/05 15:24
4F：→ SkyLark2001:看你DRIE要多久。不一定要比softbake温度高或久 12/05 16:08