作者qoo963000 (kobekoung)
看板NEMS
標題[問題] 有沒有舉離一直失敗的掛
時間Sat Nov 30 11:43:28 2013
各位先輩們好 手機排板請見諒
最近小弟 都用 PR9i-6000PY 的負光阻
來作黃光微影 光罩用負片
顯出來的圖型 （最小線寬10um）滿漂亮的
但是作舉離（lift off）就完全被洗乾淨
作了好幾次都這樣
所以我想問
1.是光阻太 厚嗎 我用500 3000轉
2.是曝光能量少嗎？
3. 還是我光阻用錯了
我今天換了 NR-20 也GG. 快瘋惹
就就小弟感恩
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 114.46.232.10
1F：推 Ice98:鍍膜條件？蒸鍍？濺鍍？ 12/02 01:21
2F：→ qoo963000:蒸鍍 12/02 03:18
3F：→ yasuhiro:你確定光阻有顯乾淨?? 12/02 13:37
4F：推 skyghostlove:光阻顯影後,有被光阻覆蓋住的地方跟沒覆蓋住的地方顏 12/03 12:48
5F：→ skyghostlove:色差異很大,就能判斷你顯影有無顯乾淨. 12/03 12:49
6F：→ skyghostlove:若還是一直脫落,建議曝光後打臭氧清除殘餘光阻,問題 12/03 12:51
7F：→ skyghostlove:應該會解決,光阻厚度決定你的曝光時間長短,相對的越 12/03 12:53
8F：→ skyghostlove:厚,曝光時間也就加長 12/03 12:54
9F：→ qoo963000:感謝！！！ 12/21 18:38