作者qoo963000 (kobekoung)
看板NEMS
标题[问题] 有没有举离一直失败的挂
时间Sat Nov 30 11:43:28 2013
各位先辈们好 手机排板请见谅
最近小弟 都用 PR9i-6000PY 的负光阻
来作黄光微影 光罩用负片
显出来的图型 （最小线宽10um）满漂亮的
但是作举离（lift off）就完全被洗乾净
作了好几次都这样
所以我想问
1.是光阻太 厚吗 我用500 3000转
2.是曝光能量少吗？
3. 还是我光阻用错了
我今天换了 NR-20 也GG. 快疯惹
就就小弟感恩
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 114.46.232.10
1F：推 Ice98:镀膜条件？蒸镀？溅镀？ 12/02 01:21
2F：→ qoo963000:蒸镀 12/02 03:18
3F：→ yasuhiro:你确定光阻有显乾净?? 12/02 13:37
4F：推 skyghostlove:光阻显影後,有被光阻覆盖住的地方跟没覆盖住的地方颜 12/03 12:48
5F：→ skyghostlove:色差异很大,就能判断你显影有无显乾净. 12/03 12:49
6F：→ skyghostlove:若还是一直脱落,建议曝光後打臭氧清除残余光阻,问题 12/03 12:51
7F：→ skyghostlove:应该会解决,光阻厚度决定你的曝光时间长短,相对的越 12/03 12:53
8F：→ skyghostlove:厚,曝光时间也就加长 12/03 12:54
9F：→ qoo963000:感谢！！！ 12/21 18:38