作者popbear (熊熊)
看板NEMS
標題[問題] 負光阻的提供
時間Mon Nov 25 21:50:14 2013
最近實驗上急需一些負光阻去選擇性電鍍銅柱
（會選擇使用負光阻是因為希望達到比較厚的厚度,大約40~50um）
但我們實驗室之前並未從事相關實驗
附近的實驗室問一問也沒有辦法幫我們電鍍或是提供符合我們期望的負光阻～
在網路上搜尋到以下是符合我們需求的負光阻
1.KMPR 1050, 1035
2.JSR-THB系列
但直接跟KMPR的公司聯絡給的回復是需要等待兩至三個月
而JSR則必須一次購買很大的量
想請問版上的大大有沒有誰的實驗室有以上這兩種光阻可以出售一些些給我們
或是有更好的光阻選擇可以介紹給我
謝謝大家
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.112.172.170
1F：推 SkyLark2001:SU8，蠻普遍的，但要搭配Omnicoat才能lift-off 12/05 16:06
2F：→ SkyLark2001:omnocoat就相對少見了。其實不用omnicoat也可以 12/05 16:07
3F：→ SkyLark2001:用其他薄光阻代替，但參數要自己試 12/05 16:07
4F：推 SkyLark2001:若你可以降低厚度的話那就簡單，選AZ P4620 12/05 16:20
6F：→ SkyLark2001:開始就是28um用在金的電鍍上面.其實要更厚也應該辦的 12/05 16:24
7F：→ SkyLark2001:到。第九頁開始的參數是兩次塗布的參數，雖然厚度是24 12/05 16:24
8F：→ SkyLark2001:但把轉速調慢，最後總厚度要超過30um是可行，但是其他 12/05 16:25
9F：→ SkyLark2001:bake, 曝光顯影參數要全部重抓 12/05 16:25