作者popbear (熊熊)
看板NEMS
标题[问题] 负光阻的提供
时间Mon Nov 25 21:50:14 2013
最近实验上急需一些负光阻去选择性电镀铜柱
（会选择使用负光阻是因为希望达到比较厚的厚度,大约40~50um）
但我们实验室之前并未从事相关实验
附近的实验室问一问也没有办法帮我们电镀或是提供符合我们期望的负光阻～
在网路上搜寻到以下是符合我们需求的负光阻
1.KMPR 1050, 1035
2.JSR-THB系列
但直接跟KMPR的公司联络给的回复是需要等待两至三个月
而JSR则必须一次购买很大的量
想请问版上的大大有没有谁的实验室有以上这两种光阻可以出售一些些给我们
或是有更好的光阻选择可以介绍给我
谢谢大家
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.112.172.170
1F：推 SkyLark2001:SU8，蛮普遍的，但要搭配Omnicoat才能lift-off 12/05 16:06
2F：→ SkyLark2001:omnocoat就相对少见了。其实不用omnicoat也可以 12/05 16:07
3F：→ SkyLark2001:用其他薄光阻代替，但参数要自己试 12/05 16:07
4F：推 SkyLark2001:若你可以降低厚度的话那就简单，选AZ P4620 12/05 16:20
6F：→ SkyLark2001:开始就是28um用在金的电镀上面.其实要更厚也应该办的 12/05 16:24
7F：→ SkyLark2001:到。第九页开始的参数是两次涂布的参数，虽然厚度是24 12/05 16:24
8F：→ SkyLark2001:但把转速调慢，最後总厚度要超过30um是可行，但是其他 12/05 16:25
9F：→ SkyLark2001:bake, 曝光显影参数要全部重抓 12/05 16:25