作者laboy10 (開學了>"<)
看板NEMS
標題[問題] 關於SU-8顯影跟光阻焦掉問題？
時間Sun Sep 15 06:58:31 2013
我想請問一下,小弟最近作的實驗碰到一些問題
我們是用SU-8當做RIE的hard mask
但是我們似乎有把它打到焦的問題
這樣造成我們要把它拿掉有的困難
原本把它拿掉的方法,我們是用remover PG
加熱至80度煮個10分鐘
可是最近這方法似乎不太管用（那罐remover PG過期好一陣子了）
我們也嘗試過用O2打
某些wafer是有點成效,但可能僅限於進去RIE時間較短的wafer
如果遇到要打比較久一點的wafer就沒有辦法拿掉SU-8
不知道有沒有人可以提供好的建議或是方法的？？
感激不盡！
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流水年華
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◆ From: 36.224.212.134
1F：推 davidtung:硫酸+雙氧水試試看 09/15 08:12
2F：推 s75287:Pirahna...煮個三天三夜.... 09/15 10:20
3F：推 f9653735:Su8本來就不好去除，換az4620 09/22 03:33