作者laboy10 (开学了>"<)
看板NEMS
标题[问题] 关於SU-8显影跟光阻焦掉问题？
时间Sun Sep 15 06:58:31 2013
我想请问一下,小弟最近作的实验碰到一些问题
我们是用SU-8当做RIE的hard mask
但是我们似乎有把它打到焦的问题
这样造成我们要把它拿掉有的困难
原本把它拿掉的方法,我们是用remover PG
加热至80度煮个10分钟
可是最近这方法似乎不太管用（那罐remover PG过期好一阵子了）
我们也尝试过用O2打
某些wafer是有点成效,但可能仅限於进去RIE时间较短的wafer
如果遇到要打比较久一点的wafer就没有办法拿掉SU-8
不知道有没有人可以提供好的建议或是方法的？？
感激不尽！
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流水年华
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◆ From: 36.224.212.134
1F：推 davidtung:硫酸+双氧水试试看 09/15 08:12
2F：推 s75287:Pirahna...煮个三天三夜.... 09/15 10:20
3F：推 f9653735:Su8本来就不好去除，换az4620 09/22 03:33