作者skyghostlove (阿呆)
看板NEMS
標題Re: [問題]於鋁金屬上蝕刻hfo2溶液
時間Fri Sep 13 13:18:57 2013
※ 引述《skyghostlove (阿呆)》之銘言：
: 想請教版上各位強者
: 目前碰到的問題如右圖:
: 將圖一蝕刻成圖二之型式,
: 之前是想過用光阻將兩側做遮罩(光阻耐得住氫氟酸)
: 再用b.o.e(DI Water:HF=10:1)蝕刻不要的hfo2就好,
: 問題是b.o.e(內含氫氟酸)會吃Ti金屬
: 所以就放棄這方法了
: 請問還有蝕刻液僅會吃HfO2,而不會吃
: Ti/Al金屬嗎?
: (1)
: 謝謝 ────────
: │ HfO2 │
: ────────
順帶一提: │ Al │
:目前乾蝕刻機壞了 ────────
:所以才走濕蝕刻這條路 │ Ti │
: ────────
: │ si │
: ────────
: (2)
: ───
: │HfO2│
: ────────
: │ Al │
: ────────
: │ Ti │
: ────────
: │ si │
: ────────
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