作者skyghostlove (阿呆)
看板NEMS
标题Re: [问题]於铝金属上蚀刻hfo2溶液
时间Fri Sep 13 13:18:57 2013
※ 引述《skyghostlove (阿呆)》之铭言：
: 想请教版上各位强者
: 目前碰到的问题如右图:
: 将图一蚀刻成图二之型式,
: 之前是想过用光阻将两侧做遮罩(光阻耐得住氢氟酸)
: 再用b.o.e(DI Water:HF=10:1)蚀刻不要的hfo2就好,
: 问题是b.o.e(内含氢氟酸)会吃Ti金属
: 所以就放弃这方法了
: 请问还有蚀刻液仅会吃HfO2,而不会吃
: Ti/Al金属吗?
: (1)
: 谢谢 ────────
: │ HfO2 │
: ────────
顺带一提: │ Al │
:目前乾蚀刻机坏了 ────────
:所以才走湿蚀刻这条路 │ Ti │
: ────────
: │ si │
: ────────
: (2)
: ───
: │HfO2│
: ────────
: │ Al │
: ────────
: │ Ti │
: ────────
: │ si │
: ────────
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