作者skyghostlove (阿呆)
看板NEMS
標題[問題]於鋁金屬上蝕刻hfo2溶液
時間Fri Sep 13 13:05:34 2013
想請教版上各位強者
目前碰到的問題如右圖:
將圖一蝕刻成圖二之型式,
之前是想過用光阻將兩側做遮罩(光阻耐得住氫氟酸)
再用b.o.e(DI Water:HF=10:1)蝕刻不要的hfo2就好,
問題是b.o.e(內含氫氟酸)會吃Ti金屬
所以就放棄這方法了
請問還有蝕刻液僅會吃HfO2,而不會吃
Ti/Al金屬嗎?
(1)
謝謝 ────────
│ HfO2 │
────────
│ Al │
────────
│ Ti │
────────
│ si │
────────
(2)
───
│HfO2│
────────
│ Al │
────────
│ Ti │
────────
│ si │
────────
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