作者skyghostlove (阿呆)
看板NEMS
标题[问题]於铝金属上蚀刻hfo2溶液
时间Fri Sep 13 13:05:34 2013
想请教版上各位强者
目前碰到的问题如右图:
将图一蚀刻成图二之型式,
之前是想过用光阻将两侧做遮罩(光阻耐得住氢氟酸)
再用b.o.e(DI Water:HF=10:1)蚀刻不要的hfo2就好,
问题是b.o.e(内含氢氟酸)会吃Ti金属
所以就放弃这方法了
请问还有蚀刻液仅会吃HfO2,而不会吃
Ti/Al金属吗?
(1)
谢谢 ────────
│ HfO2 │
────────
│ Al │
────────
│ Ti │
────────
│ si │
────────
(2)
───
│HfO2│
────────
│ Al │
────────
│ Ti │
────────
│ si │
────────
--
※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.122.196.128