作者fourgod (150giver)
看板NEMS
標題[問題] NOA65 怎麼脫膜
時間Mon Aug 26 17:30:38 2013
小弟新手 今年剛進碩一
又因為進的實驗室主要在做光學系統
所以製程方面不像大家都是用正規的方式去做
目前在做micro pillars array
使用材料是NOA65
但是我的pillar array長在塑膠光罩上面
想請問有甚麼方法能夠在NOA光硬化之後的情況下剝離sample和光罩?
簡單講就是能夠在光罩和NOA之間加入甚麼媒介使他在光硬化後還能夠剝離的?
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◆ From: 140.116.205.203
1F：推 nasa01:犧牲層? 08/26 18:50
2F：推 Jeffch:其實有可能直接撥離，要看dimension多大 08/27 05:16
3F：→ fourgod:恩 我會嘗試看看 08/28 11:20
4F：推 forceout:NOA系列對塑膠附著性似乎很差 08/31 21:22