作者fourgod (150giver)
看板NEMS
标题[问题] NOA65 怎麽脱膜
时间Mon Aug 26 17:30:38 2013
小弟新手 今年刚进硕一
又因为进的实验室主要在做光学系统
所以制程方面不像大家都是用正规的方式去做
目前在做micro pillars array
使用材料是NOA65
但是我的pillar array长在塑胶光罩上面
想请问有甚麽方法能够在NOA光硬化之後的情况下剥离sample和光罩?
简单讲就是能够在光罩和NOA之间加入甚麽媒介使他在光硬化後还能够剥离的?
--
※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.116.205.203
1F：推 nasa01:牺牲层? 08/26 18:50
2F：推 Jeffch:其实有可能直接拨离，要看dimension多大 08/27 05:16
3F：→ fourgod:恩 我会尝试看看 08/28 11:20
4F：推 forceout:NOA系列对塑胶附着性似乎很差 08/31 21:22