作者pop2513 ()
看板NEMS
標題[問題] 請教用於故障分析之光阻試片如何製作
時間Sat Aug 24 00:09:29 2013
由於目前需改善光阻試片的製作流程,
因為液態光阻,經加熱50C 1hr,
其有變形的情況,而且有peeling的情況,
所以profile不是變形就是peeing.
磨片轉速也很慢,想請教還有什麼方式可製作,
因為不能用FIB,只能用樹脂進行製作,
懇請賜教幫忙萬分感謝.
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