作者pop2513 ()
看板NEMS
标题[问题] 请教用於故障分析之光阻试片如何制作
时间Sat Aug 24 00:09:29 2013
由於目前需改善光阻试片的制作流程,
因为液态光阻,经加热50C 1hr,
其有变形的情况,而且有peeling的情况,
所以profile不是变形就是peeing.
磨片转速也很慢,想请教还有什麽方式可制作,
因为不能用FIB,只能用树脂进行制作,
恳请赐教帮忙万分感谢.
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