作者ermine ()
看板NEMS
標題[問題] AlN及AlOxNy蝕刻
時間Thu Jul 25 01:46:30 2013
各位大大好
目前遇到需要蝕刻AlN以及AlOxNy的情況
發現相關的資訊不是很多
對於AlN, 查到的多以KOH為主
AlOxNy則尚未找到可對其蝕刻的蝕刻液
想請問版上的前輩們
是否有這部份的經驗可分享
或是有任何的建議
謝謝各位了!!
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◆ From: 180.177.10.246
1F：推 astushi:熱磷酸 07/31 18:13
2F：→ ermine:謝謝a大! 08/02 21:26