作者ermine ()
看板NEMS
标题[问题] AlN及AlOxNy蚀刻
时间Thu Jul 25 01:46:30 2013
各位大大好
目前遇到需要蚀刻AlN以及AlOxNy的情况
发现相关的资讯不是很多
对於AlN, 查到的多以KOH为主
AlOxNy则尚未找到可对其蚀刻的蚀刻液
想请问版上的前辈们
是否有这部份的经验可分享
或是有任何的建议
谢谢各位了!!
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 180.177.10.246
1F：推 astushi:热磷酸 07/31 18:13
2F：→ ermine:谢谢a大! 08/02 21:26