作者INTRAMURAL (....)
看板NEMS
標題矽片蝕刻
時間Mon Jul 15 22:04:36 2013
請問因為最近要做一些類似微機電的步驟
利用濕蝕刻在矽片上長成pyramid的形貌
之後利用此矽片當模板，將PDMS做成含有pyramid的形貌
我的問題是:
第一:如何尋找濕蝕刻矽片的最佳參數，請問有常用的配方嗎。
第二:利用將PDMS做好跟矽片容易分開
謝謝
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1F：推 OhMyAlex:2:矽表面用矽烷處理 OTS最常用 07/15 22:16
2F：推 wgjfish:1:TMAH 10% 70~80度 07/27 11:01