作者INTRAMURAL (....)
看板NEMS
标题矽片蚀刻
时间Mon Jul 15 22:04:36 2013
请问因为最近要做一些类似微机电的步骤
利用湿蚀刻在矽片上长成pyramid的形貌
之後利用此矽片当模板，将PDMS做成含有pyramid的形貌
我的问题是:
第一:如何寻找湿蚀刻矽片的最佳参数，请问有常用的配方吗。
第二:利用将PDMS做好跟矽片容易分开
谢谢
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1F：推 OhMyAlex:2:矽表面用矽烷处理 OTS最常用 07/15 22:16
2F：推 wgjfish:1:TMAH 10% 70~80度 07/27 11:01