作者wqa98765 (GTO)
看板NEMS
標題[問題] Si RIE問題
時間Thu Jul 11 17:14:45 2013
板上好
我的實驗室做波導相關的
我將顯影完後的Si拿去做RIE後波導上面會覆蓋一層物質
不知道是甚麼原因
RIE選用的參數是 100W 蝕刻30分 氣體是CF4
目前覺得可能是Si清洗時做得不夠確實
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◆ From: 140.123.123.238
1F：推 Jeffch:search Back Deposition 07/12 05:19