作者wqa98765 (GTO)
看板NEMS
标题[问题] Si RIE问题
时间Thu Jul 11 17:14:45 2013
板上好
我的实验室做波导相关的
我将显影完後的Si拿去做RIE後波导上面会覆盖一层物质
不知道是甚麽原因
RIE选用的参数是 100W 蚀刻30分 气体是CF4
目前觉得可能是Si清洗时做得不够确实
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◆ From: 140.123.123.238
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