作者anfan (anfan)
看板NEMS
標題[問題] 吃TiO2、Al2O3的蝕刻液
時間Fri Jun 21 14:14:15 2013
想請問一下各位大大：
吃TiO2、Al2O3各位都是用甚麼蝕刻夜?
如果用HF或BOE有沒有辦法?
小弟的結構由上往下是：
Al2O3(100nm)
TiO2(50nm)
電極(銅或金)
InGaP
目前有查過Al2O3用{氨水：雙氧水：水} 所混合的溶液來吃
TiO2好像是用硫酸..
想問一下各位大大的意見
感謝!!
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◆ From: 140.122.196.224
※ 編輯: anfan 來自: 140.122.196.224 (06/21 14:23)
1F：→ nevinyrrals:有金擋住應該用BOE隨便吃吃就行了 06/21 21:11
2F：推 rainstonein:BOE可以吃吧, 你有實際試過嗎? 06/26 11:53
3F：→ anfan:在吃之前有用OM看比較黑(暗)，吃完之後比較白(亮)，這應該是 06/26 21:36
4F：→ anfan:有被吃掉的意思吧，然後電極有些微翹起，(用BOE吃了3HR).. 06/26 21:38
5F：→ anfan:神奇的是原本量得到光電流，吃完後卻量不到了(IV呈斜直線).. 06/26 21:41
6F：→ anfan:已解決!!使用BOE吃40s，超過40s Voc會開始掉... 07/30 10:39