作者anfan (anfan)
看板NEMS
标题[问题] 吃TiO2、Al2O3的蚀刻液
时间Fri Jun 21 14:14:15 2013
想请问一下各位大大：
吃TiO2、Al2O3各位都是用甚麽蚀刻夜?
如果用HF或BOE有没有办法?
小弟的结构由上往下是：
Al2O3(100nm)
TiO2(50nm)
电极(铜或金)
InGaP
目前有查过Al2O3用{氨水：双氧水：水} 所混合的溶液来吃
TiO2好像是用硫酸..
想问一下各位大大的意见
感谢!!
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◆ From: 140.122.196.224
※ 编辑: anfan 来自: 140.122.196.224 (06/21 14:23)
1F：→ nevinyrrals:有金挡住应该用BOE随便吃吃就行了 06/21 21:11
2F：推 rainstonein:BOE可以吃吧, 你有实际试过吗? 06/26 11:53
3F：→ anfan:在吃之前有用OM看比较黑(暗)，吃完之後比较白(亮)，这应该是 06/26 21:36
4F：→ anfan:有被吃掉的意思吧，然後电极有些微翘起，(用BOE吃了3HR).. 06/26 21:38
5F：→ anfan:神奇的是原本量得到光电流，吃完後却量不到了(IV呈斜直线).. 06/26 21:41
6F：→ anfan:已解决!!使用BOE吃40s，超过40s Voc会开始掉... 07/30 10:39