作者InoueToro (InoueToro)
看板NEMS
標題[問題] 關於複數折射率換算
時間Sat May 25 14:49:52 2013
請教板友
已知膜厚
如果量到了一波段的A, T, R
該如何換算出實部與虛部折射率
謝謝
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 111.254.137.237
1F：推 Jeffch:利用多次反射/干涉推導出T,A,R與波長的關係，公式應該很多 05/26 01:27
2F：→ Jeffch:教科書有列吧，不過實際上要fit是很不容易的，如我是已經材 05/26 01:28
3F：→ Jeffch:料要fit出厚度還比較容易一點 05/26 01:30
4F：→ Jeffch: 打錯=>如果是已知材 05/26 01:32
5F：→ Jeffch:補充，如果有量測多種角度會好一點(不然就用ellipsometry) 05/26 01:33
6F：→ InoueToro:請問有推薦的書嗎，似乎會多解，非單一解 05/26 12:25
7F：→ InoueToro:參考一些Review paper資料都不是很詳盡有點霧剎剎 05/26 12:30
8F：→ InoueToro:請問就您所知台灣哪兒有紅外光波段的 ellipsometry嗎 2 05/26 12:42
9F：→ InoueToro:2~14um 05/26 12:42
10F：推 Jeffch:膜厚大約多少?單層?基版厚度?基版材質 05/31 05:55