作者InoueToro (InoueToro)
看板NEMS
标题[问题] 关於复数折射率换算
时间Sat May 25 14:49:52 2013
请教板友
已知膜厚
如果量到了一波段的A, T, R
该如何换算出实部与虚部折射率
谢谢
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 111.254.137.237
1F:推 Jeffch:利用多次反射/干涉推导出T,A,R与波长的关系,公式应该很多 05/26 01:27
2F:→ Jeffch:教科书有列吧,不过实际上要fit是很不容易的,如我是已经材 05/26 01:28
3F:→ Jeffch:料要fit出厚度还比较容易一点 05/26 01:30
4F:→ Jeffch: 打错=>如果是已知材 05/26 01:32
5F:→ Jeffch:补充,如果有量测多种角度会好一点(不然就用ellipsometry) 05/26 01:33
6F:→ InoueToro:请问有推荐的书吗,似乎会多解,非单一解 05/26 12:25
7F:→ InoueToro:参考一些Review paper资料都不是很详尽有点雾刹刹 05/26 12:30
8F:→ InoueToro:请问就您所知台湾哪儿有红外光波段的 ellipsometry吗 2 05/26 12:42
9F:→ InoueToro:2~14um 05/26 12:42
10F:推 Jeffch:膜厚大约多少?单层?基版厚度?基版材质 05/31 05:55