作者tengyuan (tengyuan)
看板NEMS
標題[問題] PDMS翻膜線寬180nm的光柵形結構
時間Wed May 8 21:02:54 2013
小弟以爬過文
但在實際操作卻依舊無法成功
我的pattern是線寬180nm，間距180nm的光柵型結構在矽基板上，面積600um x 600um
有預SEM看過矽基板上pattern的結構很完整
也有看到繞射現象
翻膜前我有在矽基板上蒸鍍一層脫膜劑
翻完後用OM看PDMS，有看到那方形的pattern
但是在SEM下卻找不到
我不知道這樣是否有翻到
我的做法是
先在矽基板上蒸鍍脫膜劑後，將配好、抽氣好的PDMS(A劑:B劑=10:1)到在矽基板上，
在之後繼續放在pump裡面抽，想說這樣會不會計較容易填滿凹槽且順便將PDMS內的
空氣再抽出，大概約1~2小時
之後在放到加熱平台上烤約70度，烤到硬化約2小時左右
之後用手剝開將矽基板跟PDMS分離
請問大大我該怎麼改善?
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.117.32.54
1F：推 Jeffch:深度是多少? 05/09 05:43
2F：推 xneptunex:用正己烷稀釋PDMS看看 05/09 09:51
3F：→ tengyuan:深度沒量過，有用AFM量過但不準，凹下去的部分變尖的 05/09 13:41
4F：→ tengyuan:有拍過SEM看正面，感覺應該是接近方波狀，所以才覺得AFM 05/09 13:42
5F：→ tengyuan:不準，甲苯可以取代正己烷稀釋嗎?? 05/09 13:43
6F：→ tengyuan:因為樣品只有一塊，有非接觸可量出深度的儀器嗎? 05/09 13:46
7F：→ tengyuan:我們學校有Alpha-Step，他解析度算高且是非接觸的嗎? 05/09 13:48
8F：→ tengyuan:請問一下，如果我在基板上打了氧電漿和上脫膜劑，是否可 05/09 15:58
9F：→ tengyuan:以增加成功率? 05/09 15:59
10F：推 s75287:應該要切開看側面...y 05/09 16:14
11F：推 s75287:Alpha-Step 是接觸式的 應該伸不進去你的孔洞 05/09 16:52
12F：推 s75287:脫模劑可能要揮發式的silane才行 ... 05/09 16:53
13F：推 s75287:但是我覺得流不進去是裡面卡空氣的關係.... 05/09 16:54
14F：推 s75287:稀釋+抽真空才是王道... 05/09 16:54
15F：→ tengyuan:讓pdms自然固化是不是比用烘烤來的好? 05/09 21:34
16F：推 s75287:感覺還是有一點差...說不出來的感覺...自己體會一下XD 05/10 10:56
17F：→ tengyuan:s大，你就得用烤的會比自然固化來的好? 05/10 11:51
18F：→ tengyuan:稀釋的矽油是PMX 200-50CS嗎?我向橋越問的 05/10 15:09