作者tengyuan (tengyuan)
看板NEMS
标题[问题] PDMS翻膜线宽180nm的光栅形结构
时间Wed May 8 21:02:54 2013
小弟以爬过文
但在实际操作却依旧无法成功
我的pattern是线宽180nm，间距180nm的光栅型结构在矽基板上，面积600um x 600um
有预SEM看过矽基板上pattern的结构很完整
也有看到绕射现象
翻膜前我有在矽基板上蒸镀一层脱膜剂
翻完後用OM看PDMS，有看到那方形的pattern
但是在SEM下却找不到
我不知道这样是否有翻到
我的做法是
先在矽基板上蒸镀脱膜剂後，将配好、抽气好的PDMS(A剂:B剂=10:1)到在矽基板上，
在之後继续放在pump里面抽，想说这样会不会计较容易填满凹槽且顺便将PDMS内的
空气再抽出，大概约1~2小时
之後在放到加热平台上烤约70度，烤到硬化约2小时左右
之後用手剥开将矽基板跟PDMS分离
请问大大我该怎麽改善?
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.117.32.54
1F：推 Jeffch:深度是多少? 05/09 05:43
2F：推 xneptunex:用正己烷稀释PDMS看看 05/09 09:51
3F：→ tengyuan:深度没量过，有用AFM量过但不准，凹下去的部分变尖的 05/09 13:41
4F：→ tengyuan:有拍过SEM看正面，感觉应该是接近方波状，所以才觉得AFM 05/09 13:42
5F：→ tengyuan:不准，甲苯可以取代正己烷稀释吗?? 05/09 13:43
6F：→ tengyuan:因为样品只有一块，有非接触可量出深度的仪器吗? 05/09 13:46
7F：→ tengyuan:我们学校有Alpha-Step，他解析度算高且是非接触的吗? 05/09 13:48
8F：→ tengyuan:请问一下，如果我在基板上打了氧电浆和上脱膜剂，是否可 05/09 15:58
9F：→ tengyuan:以增加成功率? 05/09 15:59
10F：推 s75287:应该要切开看侧面...y 05/09 16:14
11F：推 s75287:Alpha-Step 是接触式的 应该伸不进去你的孔洞 05/09 16:52
12F：推 s75287:脱模剂可能要挥发式的silane才行 ... 05/09 16:53
13F：推 s75287:但是我觉得流不进去是里面卡空气的关系.... 05/09 16:54
14F：推 s75287:稀释+抽真空才是王道... 05/09 16:54
15F：→ tengyuan:让pdms自然固化是不是比用烘烤来的好? 05/09 21:34
16F：推 s75287:感觉还是有一点差...说不出来的感觉...自己体会一下XD 05/10 10:56
17F：→ tengyuan:s大，你就得用烤的会比自然固化来的好? 05/10 11:51
18F：→ tengyuan:稀释的矽油是PMX 200-50CS吗?我向桥越问的 05/10 15:09