作者bear100 (bear)
看板NEMS
標題[問題] ITO wet etching
時間Wed May 8 09:32:55 2013
目前在做ITO的wet etching
蝕刻液是用市售的ITO蝕刻液 成分是HCl+FeCl3
ITOfilm 300度通氧熱蒸鍍 厚度290nm
用PR當mask
浸泡五分鐘都沒有吃出什麼形狀
不曉得板友有沒有人有經驗
是哪裡有問題嗎?
會因為熱蒸鍍讓ITO氧化所以比較難吃掉嗎?
謝謝
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.115.41.168
1F：推 jeffdon2:ITO蝕刻要加溫哦，我的經驗是38度蝕刻90秒能吃掉120nm 05/08 15:43
2F：→ jeffdon2:ITO用的是市售的0.7mm玻璃基板上鍍120nmITO 05/08 15:45
3F：→ bear100:感謝 我試試看 05/09 15:35