作者bear100 (bear)
看板NEMS
标题[问题] ITO wet etching
时间Wed May 8 09:32:55 2013
目前在做ITO的wet etching
蚀刻液是用市售的ITO蚀刻液 成分是HCl+FeCl3
ITOfilm 300度通氧热蒸镀 厚度290nm
用PR当mask
浸泡五分钟都没有吃出什麽形状
不晓得板友有没有人有经验
是哪里有问题吗?
会因为热蒸镀让ITO氧化所以比较难吃掉吗?
谢谢
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.115.41.168
1F：推 jeffdon2:ITO蚀刻要加温哦，我的经验是38度蚀刻90秒能吃掉120nm 05/08 15:43
2F：→ jeffdon2:ITO用的是市售的0.7mm玻璃基板上镀120nmITO 05/08 15:45
3F：→ bear100:感谢 我试试看 05/09 15:35