※ 引述《LittleBlue21 (廖小藍)》之銘言： : 借標題一問 : 小弟最近也在用AZ 4620做Lift off : 有幾個問題想請教各位前輩 : 1. : 大家都建議AZ光阻要搭配HMDS使用 : 但我們實驗室並沒有HMDS : 爬文也沒人提到如果沒用的效果是如何(只看到HMDS可能有致癌風險...) : 難道真的非用不可嗎? : 我的基板是Si+SiO2 1. 沒有非用不可，HMDS不是什麼魔法神水，只是增加附著力的 看你線寬，圖案以及你黃光參數夠不夠好。有些人顯影很細很長的線會飄走， 這時候才要用HMDS。不過看你。你若用了HMDS之後顯得比較好何樂不為 : 2. : 我知道Hot plate與Oven兩種加熱方式不太一樣 : 像SU8 data sheet就有明文建議使用Hot plate : 而AZ4620就沒有看到有相關說明 : 不曉得對於AZ來說是不是一樣? : 有沒有人分享經驗呢? : 謝謝各位 看你4620的厚度。軟烤目的是烤光阻裡的溶劑。hotplate 跟oven的機制不同 hotplate的機制是由內而外，oven的機制是由外而內。 基本上大部分光阻的軟烤都是建議不要使用Oven的 因為一進oven把光阻表面烤乾後內層的溶劑就出不來了 但遇到4620很厚的時候使用hotplate則會發生底層烤乾了可是熱傳導不到表層 所以我這邊業界的工程師在4620超過10um以上的軟烤是用兩段式的先放hotplate再進烤箱 硬烤則比較沒這種限制 -- 本球隊一切依法行政，謝謝指教。 --

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