※ 引述《LittleBlue21 (廖小蓝)》之铭言： : 借标题一问 : 小弟最近也在用AZ 4620做Lift off : 有几个问题想请教各位前辈 : 1. : 大家都建议AZ光阻要搭配HMDS使用 : 但我们实验室并没有HMDS : 爬文也没人提到如果没用的效果是如何(只看到HMDS可能有致癌风险...) : 难道真的非用不可吗? : 我的基板是Si+SiO2 1. 没有非用不可，HMDS不是什麽魔法神水，只是增加附着力的 看你线宽，图案以及你黄光参数够不够好。有些人显影很细很长的线会飘走， 这时候才要用HMDS。不过看你。你若用了HMDS之後显得比较好何乐不为 : 2. : 我知道Hot plate与Oven两种加热方式不太一样 : 像SU8 data sheet就有明文建议使用Hot plate : 而AZ4620就没有看到有相关说明 : 不晓得对於AZ来说是不是一样? : 有没有人分享经验呢? : 谢谢各位 看你4620的厚度。软烤目的是烤光阻里的溶剂。hotplate 跟oven的机制不同 hotplate的机制是由内而外，oven的机制是由外而内。 基本上大部分光阻的软烤都是建议不要使用Oven的 因为一进oven把光阻表面烤乾後内层的溶剂就出不来了 但遇到4620很厚的时候使用hotplate则会发生底层烤乾了可是热传导不到表层 所以我这边业界的工程师在4620超过10um以上的软烤是用两段式的先放hotplate再进烤箱 硬烤则比较没这种限制 -- 本球队一切依法行政，谢谢指教。 --

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