作者LittleBlue21 (廖小藍)
看板NEMS
標題Re: [問題] 用正光阻LIFT OFF
時間Thu Apr 11 01:03:36 2013
借標題一問
小弟最近也在用AZ 4620做Lift off
有幾個問題想請教各位前輩
1.
大家都建議AZ光阻要搭配HMDS使用
但我們實驗室並沒有HMDS
爬文也沒人提到如果沒用的效果是如何
難道真的非用不可嗎?
我的基板是Si+SiO2
2.
我知道Hot plate與Oven兩種加熱方式不太一樣
像SU8 data sheet就有明文建議使用Hot plate
而AZ4620就沒有看到有相關說明
不曉得對於AZ來說是不是一樣?
有沒有人分享經驗呢?
謝謝各位
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 61.230.73.92
1F：推 jeffdon2:AZ系列以我的使用經驗來說，事先沒塗HMDS光阻真的很容易 04/11 08:20
2F：→ jeffdon2:脫落 04/11 08:20
3F：→ jeffdon2:AZ系列一般使用hotplate或是oven都可以 04/11 08:21
4F：→ jeffdon2:只是使用hotplate要注意，如果有鋪一層鋁箔或是無塵紙 04/11 08:22
5F：→ jeffdon2:的話，實際溫度可能會比設定值低一點，建議多加個5度， 04/11 08:24
6F：→ jeffdon2:或是乾脆不要鋪任何東西 04/11 08:24
7F：→ LittleBlue21:謝謝J大 04/11 09:01
8F：→ yasuhiro:請你去看清楚HMDS的MSDS再來說會不會致癌 04/11 15:58
9F：→ LittleBlue21:我知道裡面沒寫會致癌阿,但大家都這樣說,小心點總是 04/11 17:19
10F：→ LittleBlue21:好的,而且我只是說"可能".. 04/11 17:19
12F：→ Jeffch:11. Toxicological Information 04/12 00:48
13F：→ LittleBlue21:謝樓上，那我修改文章好了 04/12 13:45
※ 編輯: LittleBlue21 來自: 140.112.17.181 (04/12 13:45)
14F：推 SkyLark2001:結果根據這份MSDS，沒致癌反倒懷疑致腫瘤 orz 04/13 04:01
15F：→ SkyLark2001:不過無論如何不管是acetone, 光阻還是HMDS, 都不要拿 04/13 04:02
16F：→ SkyLark2001:出非hood之外的地方使用最保險。只能說台灣做製成的 04/13 04:03
17F：→ SkyLark2001:環境真的很不好。很多無塵室的spinner都不是放hood裡 04/13 04:04