作者LittleBlue21 (廖小蓝)
看板NEMS
标题Re: [问题] 用正光阻LIFT OFF
时间Thu Apr 11 01:03:36 2013
借标题一问
小弟最近也在用AZ 4620做Lift off
有几个问题想请教各位前辈
1.
大家都建议AZ光阻要搭配HMDS使用
但我们实验室并没有HMDS
爬文也没人提到如果没用的效果是如何
难道真的非用不可吗?
我的基板是Si+SiO2
2.
我知道Hot plate与Oven两种加热方式不太一样
像SU8 data sheet就有明文建议使用Hot plate
而AZ4620就没有看到有相关说明
不晓得对於AZ来说是不是一样?
有没有人分享经验呢?
谢谢各位
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 61.230.73.92
1F：推 jeffdon2:AZ系列以我的使用经验来说，事先没涂HMDS光阻真的很容易 04/11 08:20
2F：→ jeffdon2:脱落 04/11 08:20
3F：→ jeffdon2:AZ系列一般使用hotplate或是oven都可以 04/11 08:21
4F：→ jeffdon2:只是使用hotplate要注意，如果有铺一层铝箔或是无尘纸 04/11 08:22
5F：→ jeffdon2:的话，实际温度可能会比设定值低一点，建议多加个5度， 04/11 08:24
6F：→ jeffdon2:或是乾脆不要铺任何东西 04/11 08:24
7F：→ LittleBlue21:谢谢J大 04/11 09:01
8F：→ yasuhiro:请你去看清楚HMDS的MSDS再来说会不会致癌 04/11 15:58
9F：→ LittleBlue21:我知道里面没写会致癌阿,但大家都这样说,小心点总是 04/11 17:19
10F：→ LittleBlue21:好的,而且我只是说"可能".. 04/11 17:19
12F：→ Jeffch:11. Toxicological Information 04/12 00:48
13F：→ LittleBlue21:谢楼上，那我修改文章好了 04/12 13:45
※ 编辑: LittleBlue21 来自: 140.112.17.181 (04/12 13:45)
14F：推 SkyLark2001:结果根据这份MSDS，没致癌反倒怀疑致肿瘤 orz 04/13 04:01
15F：→ SkyLark2001:不过无论如何不管是acetone, 光阻还是HMDS, 都不要拿 04/13 04:02
16F：→ SkyLark2001:出非hood之外的地方使用最保险。只能说台湾做制成的 04/13 04:03
17F：→ SkyLark2001:环境真的很不好。很多无尘室的spinner都不是放hood里 04/13 04:04