作者bbdd203 (雲飛‧克勞德)
看板NEMS
標題Re: [問題] 用正光阻LIFT OFF
時間Thu Apr 11 00:07:44 2013
剛好小的最近也是在做這些
用正光阻AZ4620 LIFT-OFF 約 20 MICRON線寬
光阻塗厚一點 用軟片光罩的話要多加一點曝光時間 因為軟片光罩不是玻璃光罩
透光率大概9成多 很容易多留一層很薄很薄的光阻去不掉
所以通常我用軟片光罩做時就不會硬考 不然這一層根本顯不開
然後光阻弄厚點 最好鍍的東西大概10:1厚 比較好拉 比較不會毛邊
光阻弄厚還有一個好處 可以用O2 PLASMA打一下 去除要顯開的卻沒顯乾淨的
這樣很好振洗 在振洗時沒要LIFT OFF的地方會留得很漂亮
其實也要看你鍍的金屬根底材有沒有好的接觸性 我以前做過AU上在SI做LIFT OFF
泡到水就飄起來了....不過這是題外話...
如果接觸性好的話 振洗還會跑起來 那大概就是你光阻沒顯開
還留有一層很薄OM看不出來的 去給O2 PLASMA打一下吧
※ 引述《bb0303 (ZZZ)》之銘言：
: 抱歉又上來問問題
: 因為目前只能使用正光阻去做黃光 (不然我也想用負光阻阿...)
: 而小弟遇到的問題是
: 上光阻→鍍完金屬→發現有個地方lift off 不掉
: 線寬大約20um
: 很明顯是整個被金屬覆蓋住
: 想請問有沒有甚麼辦法可以lift off 掉阿
: 原本小弟是想在上面劃一刀好讓光阻流進去，但這想法實在太天真，因為根本太小...
: 我有震洗過...震洗結果是其他地方金屬有蓋率被震洗掉，
: 現在很懊惱 請求有經驗的版友可以提供意見讓我試試看
: 感謝大家的回答 如果需要甚麼補充我會再補充 感謝
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1F：推 LittleBlue21:請問O2 plasma打的時機是在顯影前嗎? 還有為什麼要厚 04/11 01:09
2F：→ LittleBlue21:光阻呢? 如果金屬結構設計要薄一點就不能打了嗎? 04/11 01:10
3F：→ LittleBlue21:更正,應該說結構高度要低一點的話 04/11 01:11